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上海昊量光电设备有限公司
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无掩膜SmartPrint无掩膜光刻机SMARTPRINTUV是一种基于DMD投影技术的设备，可兼容多种电阻和基片
无掩膜SmartPrint
无掩膜光刻机SMART PRINT UV是一种基于DMD投影技术的设备，可兼容多种电阻和基片。SMART PRINT UV可以生产任何微米分辨率的二维形状，而不需要硬掩模。基于改进后的标准投影技术，投影出具有微米分辨率的图像，无掩膜光刻机SmartPrint无需任何进一步步骤，就能直接从数字掩模光刻出您要的图。无掩膜光刻机SmartPrint主要应用是微流体，生物技术和微电子等领域光刻表面微纳图案。
主要特性：
兼容i、h、g线光刻胶
SmartPrint-UV配备了385 nm LED源，以兼容标准i, h和g线光刻胶，如SU8或AZ®1500系列
适用于各种各样的基材
我们的物镜范围经过精心选择，具有较长的工作距离(高达3厘米)，使SP-UV成为一种非接触式技术，因此兼容非标准基材(非平的，灵活的，厚的)。
可调直写范围和分辨率——用户可获得四种不同的直写分辨率 直写分辨率1.5um
兼容任何尺寸的样品，可至5平方英寸 对齐方式直观——反馈相机与第二束590nm准直光源叠加使用
体积小，性价比高
应用领域：
光器件 微流控 微电子
指标参数：
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