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高分辨率测试靶(分辨率板)

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更新时间:2024-02-13 15:08:36浏览次数:19

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产品简介

高分辨率测试靶TestChart◆负片图案设计◆基底为10x10mm²,设计紧凑,尺寸稳定性良好◆采用高精度电子束光刻技术制作◆结构尺寸低至100nm◆分辨率可达到3300lp/mm昊量光电推出的Testchart标准尺系列是由高精度的电子束光刻制作而成,这些图案蚀刻在具有广谱透射(DUV-VIS-NIR)的,基底为一个10×10mm²石英衬底上

详细介绍

高分辨率测试靶  Test Chart



◆  负片图案设计


◆  基底为10x10mm²,设计紧凑,尺寸稳定性良好


◆  采用高精度电子束光刻技术制作


◆  结构尺寸低至100nm 


◆  分辨率可达到3300 lp/mm



       昊量光电推出的 Test chart 标准尺系列是由高精度的电子束光刻制作而成,这些图案蚀刻在具有广谱透射(DUV-VIS-NIR)的,基底为一个10×10 mm²石英衬底上。在衬底上施加了高光密度的铬层,之后通过烧蚀铬层,使得结构尺寸可以降低到100纳米的同时保证了设计的精度,这种方式也保证了结构边缘的良好尺寸公差和直线度。其结构为负片图案,且每个靶上的负片图案允许结构透明,而背景被铬层阻挡。同时为配各类显微镜物镜使用,有多种图案可以选择,且所有图案都可以有一个厚度0.17毫米的覆盖玻璃的版本可用。




                       标准载玻片靶 TC-RT01   ——   7.5-3300 lp/mm+4.0-0.25um Pinholes




通过高分辨率的RT01,可以非常轻松、快速地在传输光下确定目标的分辨率限制。水平和垂直对齐共有 59 条线型,涵盖了精度从每毫米 7.5条线对 到 3300 条线对。

       同时结构的简单排列和测试结构尺寸的直接读取确保了直观的处理。此外,还有5个直径在4.0-0.25 um之间的针孔,可以实现微成像光学元件的详细表征




             西门子星状靶 TC-RT02   ——    Resolution testchart with very high precision





       该标准尺由 5 颗西门子星组成, 其特点是星中心的锥形部分制造的宽度低至为 150nm。该测试目标板非常适合于确定具有非常高数值光圈的显微镜物镜的分辨率




                   载玻片检查板TC-CB50   ——    CheckBoard of 50 x 50 um² squares


   


        高分辨率显微镜检查板的特点内部每个正方形均为 50 x 50 平方微米,整体尺寸为 9.0 x 9.0 平方毫米。该靶片非常适合于测试图像偏斜和曲率,以及确定由于直线和锐边导致的图像质量。



                 载玻片针孔靶TC-ST01   ——    Stepped rows of Pinholes from 0.18μm-4μm



       



      

      该标准尺上提供了直径0.18um到4um的针孔。相同阶梯式针孔间具有足够的暗区,使待测透镜的整个视场变暗。该标准尺特别适用于显微镜透镜的星形测试和光学显影




高分辨率显微镜靶通用规格


Pattern Tolerance:

100nm/cm

光密度 OD:

OD>8 @ 400nm, 6   @ 550nm, 4.5 @ 750nm, 3.6 @ 1000nm

光谱范围:

200 - 2000nm

基底:

Fused Silica   w/Chrome deposit

尺寸 (mm):

10 x 10 x 1

构造 :

Stainless Steel, 75   x 25 x 1.5mm, microscope slide format

 



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