高温烟气湿度仪是用于烟气湿度在线监测也就是烟气含水量在线监测的常用设备。烟气在线监测系统常使用它作为烟气湿度的监测设备。
其测量烟气含水量的方法主要有干湿氧测定法、湿度传感器测定法、激光光谱法、红外光度法等。干湿氧测定法是通过氧传感器测定湿烟气及干烟气的含氧量并计算出烟气中水分含量，该法在美国等国外CEMS的应用很普遍。采用湿度传感器测定法是通过耐腐蚀的阻容式等湿度传感器测定烟气中含水分量的方法，目前在国内应用较多。激光光谱法是基于半导体激光器发出的特征光谱被水汽吸收的原理测定烟气的湿度;红外光度法也是利用水汽对红外光源发射的红外线光谱对特定谱线的吸收原理测定烟气水分。
高温烟气湿度仪在现场调试中也必须进行校准，采用标准规定的参比方法与仪器检测同步进行，参比方法采用手工测量方法，可选用重量法、冷凝法、干湿球法中的任一种方法测定。
通常在检测时，每天至少获得5个数据对，连续三天，将参比方法测定断面的平均值减去仪器显示的烟气水分值，计算烟气水分仪检测的误差或相对误差。
也可以在现场用一个稳定的标准湿度发生器提供所需的湿度、并采用一台高温烟气湿度仪准确测定其露点，在对烟气水分仪进行校准。要求用于露点校准的仪器必须经过国家认可的实验室校准。
