太阳能光伏用超纯水设备 超纯水机

一、太阳能光伏用超纯水设备应用领域

石英石墨干锅太阳能硅片清洗、拉晶切片用水、硅材料清洗用水、制取电子工业生产如单晶硅、半导体、集成电路块、IC芯片封装、显象管、玻壳、液晶显示器、光学、光电、热电厂、冶金、化工等

二、太阳能光伏用超纯水设备工艺流程

1、一级反渗透 混床（出水2---15mΩ.cm）

原水箱—原水泵—全自动全自动多介质过滤器—全自动活性炭过滤器—全自动软水器→保安过滤器→高压泵—反渗透主机→纯水箱—纯水泵→阴阳离子交换混床→微孔过滤器—储水罐→纯水输送泵→用水点

2、一级反渗透 EDI系统（出水5---15mΩ.cm）

原水箱→原水泵→全自动多介质过滤器→全自动活性炭过滤器→全自动软水器→保安过滤器→高压泵→反渗透主机→纯水箱—EDI系统→储水罐→纯水输送泵→用水点

3、二级反渗透 EDI系统（出水18mΩ.cm）

原水箱—原水泵→全自动多介质过滤器→全自动活性炭过滤器→全自动软水器→保安过滤器→一级高压泵→级反渗透主机→PH调节→二级级高压泵→二级反渗透→纯水箱→脱气装置→微孔过滤器→EDI系统→抛光混床系统—储水罐→纯水输送泵→用水点

三、出水标准

符合美国ASTM标准、符合《中国电子行业超纯水国家标准》GB/T1146.1-1997

（18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm）