AL120晶圆搬送机

AL120晶圆搬送机可对应200mm以下晶圆尺寸的硅、化合物晶圆，可以安全高效搬送薄片晶圆，非常适合于前道到后道工程的晶圆检查。

AL120晶圆搬送机

适应范围广、搭配灵活

对应多种尺寸组合

我们推出了200 mm型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（对应小于150 mm的晶圆）的3种型号。除此以外，您还可以根据检查模式，选用微观检查型号"L型"或微观•宏观检查兼用型号"LMB型"。

薄片检查

对应薄片制造厂家的需求，AL120-LMB-90搭载的新型搬送手臂的设计可以搬运整盒25枚90 μm的极薄晶圆。

高度实用性

进一步优化的宏观检查

• 宏观检查手臂可以360゜旋转，更为容易发现伤痕和微尘。

• 利用360゜旋转功能，*可以目视检查整个晶圆（包括边缘）。此外，在表面宏观检查中，使用操纵杆可随意将晶圆zui大倾斜30゜进行观察。

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