等离子体是物质的一种存在状态，也叫第四种状态（通常物质以固态、液态、气态三种状态存在），
真空等离子表面处理仪就是利用高压电源在一定的压力条件下对气体施加足够的能量而产生。
等离子体技术的特点是不分材料的几何形状和类型，均可进行PLASMA处理，对金属、半导体、氧化物、PET纤维、PDMS、PTFE、ITO/FTO导电玻璃、硅片和大多数高分子材料，如液晶高分子、聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、聚四氟乙烯和石墨烯粉末、金属氧化物粉末、硼粉、铝粉、荧光粉等都能很好地处理，可实现整体和局部以及复杂结构的清洗、活化、改性、蚀刻。
真空等离子表面处理仪由等离子发生器，气体输送管路及等离子喷头等部分组成，等离子发生器产生高压高频能量在喷嘴钢管中被激活和被控制的辉光放电中产生低温等离子体，借助压缩空气将等离子喷向工件表面，当等离子体和被处理物体表面相遇时，产生了物体变化和化学反应。
表面得到了清洁，去除了碳化氢类污物，如油脂，辅助添加剂等，或产生刻蚀而粗糙，或形成致密的交联层，或引入含氧极性基团(羟基、羧基)，这些基团对各类涂敷材料具有促进其粘合的作用，在粘合和油漆应用时得到了优化。在同样效果下，应用等离子体处理表面可以得到非常薄的高张力涂层表面，有利于粘结、涂覆和印刷。不需其他机器、化学处理等强烈作用成份来增加粘合性。
