气体分析仪

技术的质谱分析仪，压强测试范围从大气到超高真空压强，是在线监测和混合气体分析的理想设备。无论检测受限制的污染物，溶剂，氢化物，制冷剂或者是腐蚀性气体，UGA都能胜任。UGA的应用包括半导体尾气检测，杂物箱分析，燃料电池的研究，氟利昂检测，污染检测，发酵研究和简单真空分析。UGA系列气体分析仪自带windows软件，实时采集数据和图形化显示，操作方便快捷。软件功能中包含模拟的柱状扫描模式、压力和时间关系图、检漏测试、气体分析和在线分析。标准的GPIB和RS232接口方便与计算机连接控制。

UGA系列气体分析仪包含三种质谱范围：分辨是100amu、200amu、300amu。

详细参数如下：
?入口类型      1 to 760Torr                       不锈钢和毛细管
                10^?1 to 10^?4 Torr               1/8" to 1/4" 管型通道
                 <10^?4  Torr                        2.75"CF法兰
流量                  1 to 10 毫升/分钟 （标准大气压下）
?质谱仪器
类型                                             四极（RGA） 
探测器                                         法拉第杯和电子倍增管
质谱范围                                     100, 200 or 300 amu
分辨率                                         Better than 0.5 amu(at 10 % of peak height)
探测极限                                     Less than 1 ppm
工作压力                                     5 × 10^?6Torr

?系统
高真空泵                                     涡轮分子泵
隔膜泵                                         超低压隔膜泵