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北京同林科技有限公司
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阅读：224发布时间：2022-7-4
超纯臭氧发生器（高浓度臭氧气体发生器）臭氧浓度能达到99%吗
此超纯臭氧发生器不是我们常见的高浓度臭氧发生器，此款是发生器出口臭氧浓度为99%臭氧，不含混合气体。原理如下：
臭氧发生器中产生的臭氧气体在低温冰箱中冷却，高纯度液态臭氧通过在臭氧室中的分离和积累而被冷却。 该系统通过液体臭氧的蒸发能够连续供应高纯度臭氧气体。该装置可以安全，连续地生产浓度接近100％的臭氧气体。
产品特色
超纯臭氧发生器是液化和储存臭氧气体并连续供应高纯度臭氧气体的装置。由于高纯度的臭氧水平，它可以用作半导体工艺中的氧自由基产生源。为了安全起见，本机具有足够的安全措施。
安全测量
请始终在高纯度和低压条件下运行，以确保系统安全。
安全设计
•防爆设计
•通过电源使用故障安全系统进行温度/压力控制。
可靠性
•具有紧急吹扫机制，以在停电时稀释工艺气体管线中的臭氧并排放设备内的残留臭氧。
•发生任何异常情况时（制冷机具有防止臭氧爆炸的运行维护功能），可以通过EMO（紧急关闭）开关手动切换。
•即使在不太可能发生的爆炸中，该结构的设计也可以通过将液化室容纳在真空绝缘的不锈钢容器中来防止对外部设备造成任何机械损坏。
•液态臭氧冷却装置的热量足以容纳液态臭氧的累积量，从而降低了由于振动而迅速汽化的风险，否则这是爆炸的危险因素。
标准认证
•本机符合国际标准：SEMI-S2，UL，NFPA，CE等。
质量保证
•通过第三方认证机构的示踪气体测试来验证气体泄漏的安全性。
| 领域 | 类别 | 适用技术 | 预期效果 |
|---|---|---|---|
| 环境 | 水处理 | 纯臭氧处理方法 | 消毒，除臭和脱色 |
| 药物治疗 | 医用器材 | 纯臭氧处理方法 | 灭菌和制药（有机合成） |
| 电影 | 与FPD相关 | 添加气体处理方法 | 触摸屏等的表面改性和涂膜 |
| 半导体安装相关 | FPC等的表面改性和涂膜 | ||
| 食品相关 | 包装材料的表面改性 | ||
| 电池相关 | 太阳能电池等薄膜的表面改性 | ||
| 用料 | 会员 | 纯臭氧处理方法 | 碳纳米管改性和球形硅氧化 |
| 电池 | 电极 | 添加气体处理方法 | 电极部件修改 |
| 半导体 | 成膜工艺 | •纯臭氧处理方法 •UV臭氧CVD工艺方法 •添加的气体处理方法 | 氧化，CVD，绝缘膜改性，灰化和干洗 |
| 平版印刷 | 光掩模修改，精密零件清洁和EUVL | ||
| *的系统 | 微机电系统 | •纯臭氧处理方法 •添加气体处理方法 | 灰化和干洗 |
| 纳米压印 | 干洗压模 | ||
| 微加工相关 | 高温超导膜和分子束外延（MBE） | ||
| 印刷电子 | 印刷步骤前后的表面改性和涂层 |
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