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北京同林科技有限公司
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阅读：242发布时间：2023-4-27
| 使用臭氧水 | 使用药液 |
①仅次于氟素的强氧化能力 去除金属，有机物强力有效 | ①使用盐酸，硫酸，双氧水等具有强酸性的药液，并且药液具有100℃左右的高温，操作时要十分注意。 |
| ②臭氧水处理后形成氧化膜，（0.8nm左右）→晶片表面具有亲水性 →晶片表面粒子数少 | ②将氨气/双氧水与上述①强酸一起使用的情况较多（为了除去粒子） |
③臭氧成分通过自然蒸发，或者通过使用简易臭氧分解设备， 从而使工厂排水变为可能。 →臭氧水易蒸发，立刻变成纯水 →可以使用工厂废水管道排放臭氧水 →纯水可循环利用 | ③药液使用后，使用工厂的废液处理设备中和处理。 → 药液不可循环使用 |
④消耗材料价格低 →基本上只需支付氧气费用和电费 | ④药液成本高。（以使用浴槽式设备清洗为例计算） |
◯半导体（清洗） ◯FPD，液晶（清洗） ◯MEMS，传感器（清洁） ◯硬盘（清洗） ◯太阳能电池（清洁） ◯医疗（洗手，纯净水管道清洗） ◯食品（洗手，消毒，除臭） |
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