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金属密封型质量流量计控制器

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产品型号5400系列

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更新时间：2017-08-07 23:04:48浏览次数：2131次

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北京北方华瑞测控技术有限公司

经营模式：生产厂家

商铺产品：141条

所在地区：北京北京市

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产品简介

【5400系列金属密封型质量流量计控制器设计特点】- 高精度控制，- 全316L结构- 金属密封

详细介绍

【概述/特点】
KOFLOC公司简介:
日本Kofloc公司是一家专业制造质量流量计/质量流量控制器的厂家,在有广泛的销售和应用.该公司产品广泛应用于半导体,LCD,燃烧,实验室分析,生物工艺等场合.
【技术规格】

5400系列金属密封型质量流量计控制器

经济型，适用于半导体等行业，5400是质量控制器，5410是质量流量计
流量范围：10～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM
控制阀：常闭，电磁隔膜阀
反应时间：到达设定值±2%范围内≤1秒
精度：±1%以内
线性：±0.5%以内
重复性：±0.2%以内
使用压差：范围≤5SLM时，49～294KPA，5SLM <范围≤20SLM时，147～294KPA
压力限制：980KPA
泄露率：1 × 10–11 Pa?m3/second 或更小
操作温度：0～50°C
接触介质的材质：本体: SUS316L
隔膜：Ni-CO
阀座:PTFE
密封材料:Ni,SUS316L
连接：1/4VCR
电气连接：9针插座
控制信号：0-5VDC
输出信号：0-5VDC
电源：5400：+15 VDC （±5%） 100 mA ， –15 VDC （±5%） 200 mA
　　　5410：+15 VDC （±5%） 100 mA ， –15 VDC （±5%） 100 mA