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涡轮分子泵是什么?它的工作原理是怎样的?

阅读:114发布时间:2023-7-9

涡轮分子泵是一种用于高真空和超高真空环境下的真空泵。它基于分子流动和转子动力学原理工作,主要用于将气体分子从真空室中抽出,以实现高真空状态。

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涡轮分子泵的工作原理如下:

转子运动:涡轮分子泵内部有一个高速旋转的转子,由多个弯曲的叶片组成。转子通过电机驱动快速旋转,一般转速可达几万到十几万转/分钟。

气体抽取:当转子旋转时,气体分子进入泵的吸气侧,并被转子叶片的动力学效应捕获。转子叶片的运动将气体分子带到泵的排气侧,并将其排出系统。

分子碰撞:在转子的运动过程中,气体分子之间会发生碰撞,从而使气体分子的能量分散,并逐渐增加气体分子的平均速度。

漏气控制:涡轮分子泵内部还设置了一个定向导流器,用于控制气体分子的流动方向,以避免气体的回流和漏气。

通过上述工作原理,涡轮分子泵能够快速抽取气体分子,将气体从真空室中抽出,从而降低气体分子的密度和压力,实现高真空或超高真空的环境。

以上就是提供的涡轮分子泵介绍及工作原理。



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