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北京麦迪森科技有限公司
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多功能电感耦合等离子体增强化学气相沉积系统（CVD）是用来制备高纯、高性能固体薄膜的主要技术，主要借助微波或射频的方法将目标气体进行电离，促进化学反应在较低的温度下进行，从而在基片上沉积出所期望的薄膜
多功能电感耦合等离子体增强化学气相沉积系统（CVD）是用来制备高纯、高性能固体薄膜的主要技术，
主要借助微波或射频的方法将目标气体进行电离，促进化学反应在较低的温度下进行，从而在基片上沉积
出所期望的薄膜。
目前项目团队自主研发的CVD设备可在多种衬底上（如金属、氧化物、半导体表面）直接生长以石墨烯为
代表的各类新型二维材料，用于新材料、新器件的研发。工艺简单廉价，且具有传统半导体生长工艺的兼
容性。
应用案例
以上就是为您介绍的等离子体增强化学气相沉积系统CVD产品，如果想要了解
更多产品信息请咨询（微信同号）。
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