真空烧结炉的封闭加热室采用定型碳毡加其他的保温材料，这种保温结构的热损失明显减少，测试表明空炉热效率为70%，通常同类炉型热效率为50%左右。所以这种保温结构大大降低了成本，且维护更方便快捷。
微波真空烧结炉也具有润滑剂烧除、预烧结及高温烧结的功能。润滑剂含量多的压坯可先在一般炉中烧除，然后再在真空炉内烧结。
微波真空烧结炉内部通常是由加热部分和隔热保温两部分组成的烧结区。加热形式有电热元件(如碳管、碳棒)加热、中频感应加热两种。炉子的冷却采用水夹套冷却。为了加速冷却，可向炉内通入氢、氮、氩等气体。
微波真空烧结炉结构特点：
(1)炉体全部采用不锈钢制造，为双层结构，分内外桶体，炉底封头采用旋压工艺加工。因为热压装置产生的力要由炉体承受，炉体必须具有很高的强度和足够的刚度，在外力和高温下不得变形。炉底动密封装置的固定座中心线与炉体上法兰盘必须垂直，以保证下顶杆运动的直线度。动密土封装置固定座有良好的冷却条件，以延长密封件的使用寿命。
(2)炉盖由炉盖体、举起油缸和上压头组成。炉盖为双层结构，为承受下顶杆传递的压力，必须具有足够的强度和刚度。上压头的下端工作时处于高温区，必须强制冷却。
(3)保温桶由隔热桶、反射桶、保温层及桶体组成，分别用石墨、钼片、石墨毡和不锈钢制作。用钼片制作的反射桶主要抵御由发热元件产生的辐射热，以免损害保温层和炉体。
(4)热压装置由液压站、油缸、举起油缸、下顶杆及控制器组成。液压站有两路压力输出，是驱动炉盖上下运动，二是驱动热压油缸运动。热压油缸的控制有两种方式，手动或自动。自动运行时，可根据设定的压力自动保压，使制品始终处于恒压状态。
