当前位置：成都沃特塞恩电子技术有限公司>>微波等离子体CVD设备>>【DiaMiner培育钻石设备】DM-8000微波等离子体CVD设备

【DiaMiner培育钻石设备】DM-8000微波等离子体CVD设备

参考价

面议

具体成交价以合同协议为准

产品型号

品牌

厂商性质生产商

所在地

在线询价收藏产品查看联系电话

更新时间：2023-03-09 12:31:05浏览次数：310次

联系我时，请告知来自环保在线

成都沃特塞恩电子技术有限公司

经营模式：生产厂家

商铺产品：47条

所在地区：四川成都市

联系人：宛女士（市场专员）

询价 给他留言

产品简介

【DiaMiner培育钻石设备】DM-8000微波等离子体CVD设备

详细介绍

技术参数

（1）	型号	DM-8000
（2）	电源	AC380 V 三相五线制 50Hz，
（3）	微波输出功率	8kW ，2450MHz点频
（4）	微波泄露	≤2mW/cm³@5cm
（5）	功率稳定度	1 %（@稳态）
（6）	有效沉积区域	up to Φ 70 mm
（7）	样品台直径	Φ120 mm
（8）	极限真空度	≤5 ×1 0-1 P a
（9）	真空漏率	＜1x10-9Pa.m³/s
（10）	单晶生长	生长速度10-15μm/H，单轮生长厚度≥1.6mm
（11）	单晶质量	色度H，肉眼无瑕疵
（12）	气体种类	标配四路MFC：H2:1000sccm，CH4:100sccm，O2:10sccm，N2:5sccm；可扩展为5路
（13）	压强控制范围	5-255 torr
（14）	压强控制精度	±0 . 1 T o r r
（15）	冷却水	＞65L/Min