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成都沃特塞恩电子技术有限公司


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争光(GLORY)系列固态射频电源

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具体成交价以合同协议为准

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品       牌

厂商性质生产商

所  在  地

更新时间:2023-09-05 11:46:29浏览次数:134次

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经营模式:生产厂家

商铺产品:47条

所在地区:四川成都市

联系人:宛女士 (市场专员)

产品简介

争光(GLORY)系列固态射频电源

详细介绍

技术参数

项目

通用指标

频率

2MHz/13.56MHz/27.12MHz/40MHz/60MHz

频率误差

0.005%

额定输出功率

30W-6kW;50W-10kW

功率模式  

Forward power;load power

功率步进

1W(最小0.1W-低功率高精度模式,5W开始)

功率重复性(同一电源)

±0.5%

整机效率(额定功率下)

63%-6kW;60%-10kW

散热方式

水冷+风冷

通信接口

Analog/Ether CAT/RS232/Ether NET/local


欲知更多详细技术参数请点击“立即咨询"联系我司客服进行了解!

工作模式

连续波

脉冲波

应用范围

ICP/CCP干法刻蚀

PECVD


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