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【MPCVD培育钻石】HMPS-2080SP微波等离子体(CVD)系统

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更新时间：2023-09-05 11:48:01浏览次数：145次

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成都沃特塞恩电子技术有限公司

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产品简介

【MPCVD培育钻石】HMPS-2080SP微波等离子体(CVD)系统 HMPS-2080SP的微波等离子体CVD设备是一款多用途、高性能的适用于高品质金刚石及多种碳基材料制备的综合实验和产业化设备，该设备可提供2英寸的金刚石材料生长能力。. 采用沃特塞恩第三代高稳定固态功率源；新一代大容积圆柱型水冷放电腔。. 性能*，安全、可靠性强、重现性好，操作简便。. 多参数......

详细介绍

技术参数

（1）	型号	HMPS-2080SP
（2）	电源	AC380±10% V 三相五线制 50Hz，额定输入＜18KVA
（3）	微波输出功率	0.1~8kW 连续可调
（4）	功率稳定度	1%（@稳态）
（5）	纹波	≤1%
（6）	微波频率	2450MHz±50MHz
（7）	测温方式	红外300~1400℃
（8）	极限真空度	≤3.7×10^-3Torr
（9）	工作压力	5torr~225torr
（10）	放电区	Φ≥70mm
（11）	均匀沉积区	≥68mm
（12）	工作气体	H2 /CH4 /N2 /O2 或CO2 或Ar ,可扩展为5路
（13）	氦质谱真空漏率	≤1.0×10-9Pa·m3/s；
（14）	工作环境	温度15-40℃，相对湿度≤60%，无腐蚀性气体