HBO 200W/DC，HBO 350W/S，HBO 1000W/D，HBO 5000W/S
德国OSRAM 欧司朗曝光灯系列，具体良好的光通量，稳定的光强度以及优质的品质受到业界的青睐。目前给德国苏斯光刻机配套的相关参数如下：
HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography | |||
Lamps for SÜSS Equipment | Lamp type | Max life[h] | Equipment(适用机型） |
HBO 200W/DC | 1000 | MJB3 | |
HBO 350W/S | 600 | MA4,MA6,MA8,MA150,MJB3,MJB21,UV300/500 | |
HBO 1000W/D | 1000 | MA150,MA200,MA4,MA6,MA8 | |
HBO 5000W/S | 1000 | MA300 | |
环保在线