详细介绍
高真空电阻蒸发镀膜机ZHD400产品概述:
1、适用:大专院校、科研院所及企业进行薄膜新材料的科研与小批量制备。
2、产品特点/用途:
► 设备一体化设计,占地面积小,*,性能稳定,使用维护成本低;
► 设备配备4~6组蒸发源,兼容有机蒸发与无机蒸发,多元共蒸获得复合膜/分蒸获得多层膜,功能强大,性能稳定;
► 适用于实验室制备金属单质膜、半导体膜、有机膜,也可用于生产线前期工艺试验等;
► 适用于蒸发镀膜与手套箱环境有机融合,实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接,广泛用于钙钛矿太阳能电池/OPV有机太阳能电池及OLED薄膜等研究系统等。
高真空电阻蒸发镀膜机ZHD400技术参数
型号 | ZHD400 |
镀膜方式 | 多源蒸发镀膜 |
真空腔室结构 | 立式方形前开门结构 |
真空腔室尺寸 | L400×W440×H450mm |
加热温度 | 室温~300℃ |
旋转基片台 | 120mm×120mm |
基片台升降 | 手动调节升降高度0~80mm |
膜厚不均匀性 | ≤±5.0% |
蒸发源 | 2~3组金属源,2~3组有机源 |
控制方式 | PLC/PC自动控制系统可选 |
占地面积 | 主机L1750×W850×H1910mm |
总功率 | ≥8KW |
北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来,一直专注于真空设备的研发、设计、制造,是一家集真空薄膜新材料沉积设备、真空技术应用设备等相关设备及其工艺的研发、设计、制造、销售、服务于一体的*。
公司的研发中试孵化基地位于毗邻雄安新区的任丘经济技术开发区,距离未来的雄安高铁站约20公里,占地面积20000㎡,不仅建有包括机加工、电气、结构组装,调试等多个中试生产车间和办公楼以及其它辅助厂房;同时建有研发工艺、服务客户的开放实验室。公司还聘请了国内外真空行业zi深的专家、教授作为本公司的技术顾问,确保真空设备产品高水平,始终保持较强的自主研发能力、*的设计概念、领xian的技术优势。