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江苏康玉环保科技有限公司
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阅读：110发布时间：2023-9-6
造纸厂废气处理设备之半导体废气处理
随着信息时代的到来，半导体产业也在快速发展。半导体制造商给社会带来的经济效益和就业率是显而易见的，但随之而来的是空气污染。因为半导体行业需要清洁操作室。要求，通常采用风机提取过程中挥发性的各种废气，因此半导体行业的废气排放具有排放量大、排放浓度小的特点。
主要成分：半导体工业废气主要为4种有机废气和酸碱废气。有机物有：非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等；酸碱有：氨硫酸雾、氟化物、氯化物、氯等。主要来源：半导体行业造成环境污染的有害气体主要来自芯片或电路板生产的清洁、均胶、去胶、蚀刻和显影过程。主要危害：半导体行业主要是由于使用了一些化学物质（如硫酸、盐酸、氟氯化碳、、三氯、乙烷等化学物质。和其他有机卤化物)挥发对大气环境造成污染，机械噪声和整机装配过程中产生的少量粉尘也会造成环境污染，导致慢性或急性中毒。
工作原理：待处理的有机混合废气通过引风机作用，先通过预处理过滤装置去除废气中的灰尘和杂质，否则直接吸附会堵塞沸石的微缩孔，从而影响吸附效果。初步过滤后，相对纯净的有机废气进入沸石轮吸附装置进行吸附净化处理，有机物被转轮沸石的力拦截，清洁气体排出。沸石转轮脱附的高浓度废气直接进入TO直燃焚烧炉进行焚烧净化处理。
废气焚烧后，炉内燃烧室的高温气体和内部热交换器进行热交换制在300-350℃左右进入燃烧室燃烧，燃烧后，内部热交换器冷却后进入尾部二次烟气余热利用装置，d级余热利用装置用于脱附，加热后的清洁气体进入转轮脱附区，沸石中的有机物在热空气加热后从沸石中挥发，此时脱附废气浓度高，风量小，高温有机废气进入二次烟气余热利用装置，二次提高废气温度，进入TO焚烧炉焚烧处理，再次降低TO焚烧炉焚烧的运行成本。实现真正的节能和环保。同时，整个设备安装q，可靠，无二次污染。
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