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产品简介

*PI PicoCube XY（Z）压电扫描仪
并联测量技术可实现导向误差的自动化补偿
分辨率50皮米
行程5微米×5微米×5微米
真空兼容版本

详细介绍

*PI PicoCube XY(Z)压电扫描仪

品牌：PI(Physik Instrumente)
品牌公司简介：
德国PI公司是运动和定位领域的解决方案供应商。
PI不仅开发和生产各种定位平台和执行器，用于线性，旋转和垂直运动或不同轴的组合。 PI因此将这些解决方案适应客户特定的应用或提供用于运动和定位的成品子系统。

产品应用领域：
半导体制造
医学工程
生物技术
工厂工程
表面计量
天文学

产品系列：
纳米定位压电弯曲平台

微型平台

线性平台

线性执行器

旋转平台

XY位移平台

六足位移台

设计系统

快速多通道光子学对准

订购信息：

P-363.3CD PicoCube高精度XYZ向纳米定位系统，5微米 × 5微米 × 5微米，平行计量，电容传感器，Sub-D连接器

P-363.3CL PicoCube高精度XYZ向纳米定位系统，5微米 × 5微米 × 5微米，平行计量，电容传感器，LEMO连接器

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、*稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对chong击和振动不敏感。它们*真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

*PI PicoCube XY(Z)压电扫描仪

关键词：位移台传感器

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