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北京北方大河仪器仪表有限公司
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FathomMF系列质量流量计和控制器(中量程)特点：1、热式传感器2、1%精度100:1量程比3、一体化的阀、显示器及设定点4、线性化输出(0-5VDC
应用：
1、OEM
2、实验室
3、医学
4、过程控制
5、制药
6、泄漏检测
7、R & D
8、气体混合
MF系列气体质量流量计及控制器量程从 100到500 SLPM. 流体（接液部分） 结构为 316SS ，接口为 1/2″ FNPT.MF系列与GR系列一样具有多种电子选项：包括LCD显示，就地设定点等。
GR系列 | MF系列 | HF系列 | IL系列 | |
| 材质 | 聚甲醛树酯 Viton 可选：316不锈钢 | 316SS（PH17-4） Viton | 铝 Viton | 316SS（PH17-4） Viton |
| 输出信号 | 0-5V DC 线性 | 0-5V DC 线性 或4-20mA线性 | 0-5V DC 线性 或4-20mA线性 | 0-5V DC 线性 或4-20mA线性 |
| 供电 | 24V DC标准，可选15V 115VAC，220VAC@500ma | 24V DC标准，可选15V 115VAC，220VAC@500ma | 24V DC标准，可选15V 115VAC，220VAC@500ma | 24V DC标准，可选15V 115VAC，220VAC@500ma |
| 精度 | +/-1%FS（包括线性） | +/-1%FS（包括线性） | +/-1%FS（包括线性） | +/-1%FS（包括线性） |
| 重复性 | +/- 0.15% FS 或更好 | +/- 0.15% FS 或更好 | +/- 0.15% FS 或更好 | +/- 0.15% FS 或更好 |
| 电气连接 | 9针 Sub”D” | 9针 Sub”D” | 9针 Sub”D” | 9针 Sub”D” |
| 输入信号 | 整体 or 0-5VDC | 整体 or 0-5VDC | 整体 or 0-5VDC | 整体 or 0-5VDC |
| 控制阀 | 电磁阀 NC | 电磁阀 NC | 电磁阀 NC | 电磁阀 NC |
| 量程 | 0-10SCCM-100SLPM | 0-100SLPM-500SLPM | 35SCFM | 0-10SCCM，0-20SLPM |
| 耐压 | 250PSIG | 500PSIG | 250PSIG | 500PSIG |
| 响应时间 | 1秒 | 1秒 | 1秒 | 1秒 |
| 温度系数 | 0.05%满量程/1℃或更好 | 0.05%满量程/1℃或更好 | 0.05%满量程/1℃或更好 | 0.05%满量程/1℃或更好 |
| 压力系数 | 0.01%满量程/PSIG或更好 | 0.01%满量程/PSIG或更好 | 0.01%满量程/PSIG或更好 | 0.01%满量程/PSIG或更好 |
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