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合肥智测电子有限公司
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工作原理：利用NTC热敏电阻在的测温特性，电阻值随着温度上升而迅速下降。利用这一特性, 我们可阻通过测量NTC电阻值来确定相应的温度，从而达到检测和控制温度的目的。光刻机曝光光学系统±0.001℃精度温度传感器
引言
光刻机（Mask Aligner）又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
光刻机工艺是由硅片处理、涂胶、前烘、曝光、后烘、显影、坚膜、检测。其中光刻机的检测尤为重要光刻胶在显影后在烘烤硬化坚膜。对刻蚀和离子注入工艺非常关键。正胶的坚膜烘培温度约为120℃到140℃。温度太高会产生光刻胶流动。因此温度对于光刻的成品率起着重要的决定性因素
光刻机工艺是由硅片处理、涂胶、前烘、曝光、后烘、显影、坚膜、检测。其中光刻机的检测尤为重要光刻胶在显影后在烘烤硬化坚膜。对刻蚀和离子注入工艺非常关键。正胶的坚膜烘培温度约为120℃到140℃。温度太高会产生光刻胶流动。因此温度对于光刻的成品率起着重要的决定性因素
产品介绍
NTC测量模块是一种以负温系数热敏电阻为感温探头的传感器。NTC是合肥智测电子有限公司的一款高精度热敏电阻测量产品，支持4线制热敏 电阻测量，测量zuida阻值250KΩ，精度±0.02℃。RS485接口支持MODBUS协议，包括MODBUS RTU和MODBUS ACSII协议，NTC测量模块采用24V直流电压供电，提供4线制热敏电阻温度测量，用户可输入NTC 特征参数，精度可达±0.02℃。模块配备了RS485通讯接口，支持MODBUS协议，可提供 用户二次开发。独立的电源开关可单独控制模块供电。
NTC测温模块广泛应用于电子、半导体、LED、空调,冰箱、冷柜、热水器、饮水机、暖风机、洗碗机、消毒柜、洗衣机、烘干机等家电设备上、汽车空调、水温传感器、进气温度传感器、发动机、开关电源、UPS不间断电源、变频器、电锅炉等
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