黄生
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日本sanyu electron桌面涂布机SC-701AT
特征
排气 → 镀膜（蚀刻） → 全自动直至向大气开放
尽管是紧凑型，但仍可控制膜厚（简易型）
操作简单、重现性高的全自动溅射设备
配备镀膜/蚀刻模式
应用/结果示例
适用于各种设备的电极膜附件
用于制造反射薄膜等
日本sanyu electron桌面涂布机SC-701AT
基本规格
| 阴极 | φ2英寸/2极面对电极 |
| 溅射靶 | 包括 Au 目标 |
| 蚀刻靶 | 包括铝目标 |
| 膜厚设定方法 | 预设方法/带膜厚监视器的数字显示 |
| 气体引入机制 | 针阀 |
| 真空泵 | 直联回转泵：20l/min（带自动漏气） |
| 排气操作 | 自动的 |
| 腔室尺寸 | 内径 φ120 mm x D120 mm（SUS 制） |
| 样品交换方式 | 前门开闭式 |
| 尺寸（宽/深/高） | 主体：225/420 / 320mm RP：300/160 / 200mm |
| 重量 | 身体：15kg RP：9kg |
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