黄生
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日本sanyu electron桌面涂布机SC-701HMCⅡ
特征
支持W（钨）/Ni（镍）/Cr（铬）/Ti（钛）等成膜的DC溅射设备
使用磁控管阴极
内置微机，高精度控制成膜过程
操作方式为全自动/手动2种模式
标配自动快门机构
应用/结果示例
W/Ni/Cr/Ti等的成膜
燃料电池基础实验
日本sanyu electron桌面涂布机SC-701HMCⅡ
基本规格
| 阴极 | φ2寸磁控阴极 |
| 快门机制 | 自动/手动操作 |
| 气体引入机制 | 针阀（自动/手动控制） |
| 真空泵 | 直联回转泵：100l/min（带自动漏气） |
| 腔室尺寸 | 内径φ160mm x D160mm（SUS制） |
| 样品交换方式 | 前门开闭式 |
| 尺寸（宽/深/高） | 机身： 360/360 / 260mm RP：174/460 / 264mm |
| 重量 | 身体：20kg RP：23kg |
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