黄生
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日本ulvac换能器类型皮拉尼真空计SP1
传感器单元 (SP1) 是 G-TRAN 系列皮拉尼规型测量单元。
传感器单元采用触针和电路部分一体化的结构（触针可更换），是适合降低成本和节省空间的真空计。
特征
传感器规格：不需要压力指示器时、降低真空计成本、节省控制面板周围的空间、节省布线等。
轻松更换触控笔
灯丝材料使用耐腐蚀铂。
您一直使用的触控笔（SP1：WP-01、02、03、16）可以原样使用。
可以输出两个设定点
SP1：压力为0～5V输出（非线性输出）
电源电压：可使用DC24V输入
用途
用于半导体和电子元件等各种制造设备的低真空区域的过程控制
用于熔炉等各种工业设备的低真空区域的过程控制
用于在线型和单晶片型等具有许多工艺室的各种制造设备的低真空区域的工艺控制
日本ulvac换能器类型皮拉尼真空计SP1
规格
| 类型 | 传感器单元 |
| 模型 | SP1 |
| 自适应探头 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
测量精度 | ±15%（51Pa 至 760Pa） |
| ±30%（10Pa 至 1000Pa） | |
| ±50%（0.4Pa 至 3000Pa） | |
| 工作温度限制 | 10 至 40°C |
| 采样时间 | 50ms 5次移动平均处理 |
测量值输出 | 非线性输出：DC0-5V (Max.10V) |
| （更新时间） 50 毫秒 | |
| (分辨率) 10mV | |
| 设定点 1/2 调整的输出 | 非线性输出：DC 0-5V (Max.10V) |
| 控制输出信号 | 集电极开路，负逻辑 |
| 错误信号 | |
| 设定点 1/2 | |
| LED显示屏 | 功率、误差、设定值 1/2 |
| 电源电压 | DC24V±2V, 90mA (Max.) |
| 输入/输出连接器 | D-sub-15P（M2.6螺丝） |
| 身体质量 | 190g（不含触控笔） |
配件 | 输入/输出连接器 1套 |
| 快速手册 1 份 |
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