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上海羽宸光电科技有限公司
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真空测量与控制
真空测量与控制
如今，此仪表用于能够测量的真空压强范围从大气压(约 1000 mbar (750 Torr)) 直到 10-12mbar/ 0.75•10-12 Torr，即1015范围。
1. 真空计
a. 带机械显示的真空计
一般情况下，机械式真空计的压力显示是由作用在隔膜表面的压力决定的。是直接的压力测量（压力）。
产品型号 |
BOURDONVAC A | Capsule vacuum gauge |
DIAVAC DV 1000 |
|
主要特点 | 压强范围: 1 - 1020 mbar | 压强范围: 1 - 100 mbar | 刻度 mbar | 刻度 Torr |
b. 手持式真空计
一般情况下，机械式真空计的压力显示是由作用在隔膜表面的压力决定的。是直接的压力测量（压力）。
压强范围: 5 x 10-4 mbar - 1200 mbar
接口法兰: DN 16 ISO-KF
2.主动/被动型传感器
a.变送器
主动型传感器（CERAVAC,THERMOVAC,PENNINGVAC 和IONIVAC)直接集成于真空系统，显示和操作单元可选，被动型传感器不能单独显示和操作。
产品型号 | 描述 | 主要特征 |
CERAVAC-变送器 | CTR电容薄膜真空计,测量范围1000到10-5 豪巴。采用纯焊接Inconel®传感器，具有*精度（高达0.12%）和测量重复性。CTR真空计的耐腐蚀能力也使其广泛适用于严苛环境和腐蚀性环境。 | ·压强范围: 1 x 10-1 Torr - 1000 Torr |
THERMOVAC-变送器 | THERMOVAC 变送器基于*的MEMS技术和皮拉尼原理设计，具有*性价比。测量范围从10-5到1500豪巴之间。THERMOVAC变送器耐冲击、耐振动，测量重复性好。 | ·压强范围: 5 x 10-5 mbar - 1000 mbar |
PENNINGVAC-变送器 | PENNINGVAC 变送器是PTR结合了冷阴极电离原理与MEMS-皮拉尼真空规原理的全量程真空规。一台变送器就能测量从1×10-8 mbar到大气压的压强范围。具有设计紧凑，量程宽泛，性价比高等特点。 | ·压强范围: 1 x 10-9 mbar - 1 x 10-2 mbar |
IONIVAC-Combi-变送器 | 电离变送器ITR是基于BA原则的主动型传感器（压力值转换电压值）。热阴极发射电子轰击阴极，撞击到的气体分子会被电离。 | ·压强范围: 5 x 10-10 mbar - 1000 mbar |
b. 被动型传感器
以下产品只是被动传感器中的一小部分，了解更多，请联系我们。
THERMOVAC | PENNINGVAC |
压强范围: 5 x 10-4 mbar - 1000 mbar |
压强范围: 1 x 10-9 mbar - 10-2 mbar |
压强范围: 5 x 10-4 mbar - 1000 mbar | 压强范围: 1 x 10-9 mbar - 10-2 mbar |
压强范围: 5 x 10-4 mbar - 1000 mbar | 压强范围: 1 x 10-9 mbar - 10-2 mbar |
压强范围: 5 x 10-4 mbar - 1000 mbar |
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3. 超高真空计
3通道显示真空计控制器IONIVAC IM 540结合了4种不同的测量原理（皮拉尼、电容薄膜、BA热阴极和Extractor热阴极），可以测量从10-12 mbar到大气压之间的真空压强。
传感器：
真空计控制器IONIVAC IM 540 | IONIVAC 传感器 |
IONIVAC IM 540 - 美洲/欧洲版 - 115V/230V 压强范围: 1 x 10-12 mbar - 1100 mbar 电源供电: 90 - 264V AC, 50/60Hz | 压强范围: 2 x 10-11 mbar - 1 x 10-2 mbar |
| 压强范围: 2 x 10-12 mbar - 1 x 10-4 mbar |
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