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108C自动镀碳仪

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更新时间：2021-07-29 14:37:58浏览次数：186次

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产品简介

品牌：英国Cressington108C Auto是用于扫描电镜能谱分析的的镀碳仪之一

详细介绍

品牌：英国Cressington

108C Auto是用于扫描电镜能谱分析的的镀碳仪之一。

主要特性

l *的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚大约20nm左右进行多次蒸发，无须切削或调整碳棒形状。

l 108C Auto中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。该镀膜系统结构紧凑，容易操作，抽真空周期短。选件MTM-10高分辨膜厚监控仪可以精确地得到所需的碳膜厚度。

l 使用新型的蒸发装置：电流和电压通过磁控头的传感线监控，蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低，碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作。

l 可选择手动或自动方式操作。

l 自动模式下，蒸发源按程序设定的电压和时间进行喷镀。手动模式下，*的设计允许以脉冲或连续的方式操作，并通过旋钮控制输出电压。

l 可配备MTM-10高分辨膜厚监控仪（选件）。分辨率优于0.1nm。在15nm至25nm的碳膜厚度范围内，重现性可优于5％。

技术参数
样品室大小	直径120 x 120mm 高 (4.75 x 4.75")
蒸发源	Bradley型 (6.15mm rods, [1/4"]) 高强度不锈钢结构
蒸发控制	基于微处理器的反馈回路控制，能够进行远程电流/电压感应，基于真空水平变量的安全互锁功能，电流180A，提供过流保护
样品台	可装置12个样品座，高度在30mm范围内可调
模拟计量	真空: atmos - 0.001mb; 电流: 0-200A
厚度监控	MTM-10 高分辨膜厚监控仪(选件)
控制方法	自动蒸发控制，使用程序设定的电压和时间以脉冲或连续方式进行*手动控制数字定时器（0－30s）数字电压设置（0.1 to 6.0V）