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固体射频裂解源

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更新时间:2021-07-29 16:05:40浏览次数:95次

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产品简介

应用 应用:射频(300W)裂解蒸发物质并可多种气体(Ar;Ne;N2; H2 etc

详细介绍


应用
应用:射频(300W)裂解蒸发物质并可多种气体(Ar;Ne;N2; H2 etc.)混合激发形成等离子体以实现多元素化合物薄膜生长的生长或掺杂
技术指标
*型号:RFK30
*蒸发裂解如磷;砷;硒 和硫等多原子态固体为以单原子为主流的活性束流
*蒸发区域(30cc)具有独立的温控功能( max 450C),通过温度可控制固态物质的蒸发流量
*高效水冷,低系统热载,适用于热敏化合物的生长或掺杂
*束流稳定监测及回控系统
*可实现射频自动匹配单元和等离子体监控的计算机全自动控制

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