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在线膜厚检测 在线测厚仪

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更新时间:2022-11-01 09:14:10浏览次数:860次

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产品简介

在线膜厚检测这个领域运用比较成熟的方法有光谱共焦法、激光三角法、白光干涉法。这三者采用不同的检测原理,所检测的精度也略微不同。

详细介绍

产品背景
在薄膜生产过程中,薄膜的厚度控制成为了生产的难题,传统的薄膜生产过程中,膜厚的检测依靠经验丰富的师傅用千分尺进行测量,在一条24小时不停歇的生产线上,需要配备几个人对其进行检测,这样不仅加大了企业的人力物力,而且人工测量的精度也很难得到保障。随着现代薄膜制造业对产品的要求日益严格,为了有效的提高产品的测量精度,节约人工成本,因此在线膜厚检测成为了自动化薄膜生产线中*的一部分。
 
检测原理
  东莞市捷扬光电科技有限公司在在线膜厚检测这个领域运用比较成熟的方法有光谱共焦法、激光三角法、白光干涉法。这三者采用不同的检测原理,所检测的精度也略微不同。
 
●光谱共焦法:一束白光穿过小孔S,照射在色散镜头组L上。色散镜头组把白光分解成不同波长的单色光,每一种单色光都有不同的焦距,按色光的波长由短到长,它们的像点离开透镜由近到远地排列在光轴上,然后打到样品上,只有在样品焦点位置的光才会反射回来。反射回来的光经过光纤传导到光谱仪进行光谱分析,分析出当前的光谱,即可对应计算出焦点的距离。

 

在线膜厚检测                                                                                        

 

●激光三角法:  激光位移传感器利用激光发射器通过镜头将可见红色激光射向被测物体表面,经物体反射的激光通过接收器镜头,被内部的CCD线性相机接收,根据不同的距离,CCD线性相机可 以在不同的角度下“看见”这个光点。根据这个角度及已知的激光和相机之间的距离,数字信号处理器就能计算出传感器和被测物体之间的距离。

 

在线膜厚检测                                                                         
 

●白光干涉法:样品涂层的上下表面的反射光会产生干涉,其干涉条纹的疏密与厚度有一定的关系,通过光谱仪检测出光的干涉条纹,再通过软件计算出薄膜的厚度。

 

1) 薄膜上下表面都会产生反射光,如下图所示:
 

 在线膜厚检测

                                                                   
2) 两种反射光由反射探头采集,传入光谱仪进行检测,光谱仪测出干涉条纹。
 
3) 根据仪器测量到的干涉条纹,通过软件,计算出薄膜的厚度。

 

检测方式

东莞市捷扬光电科技有限公司的在线膜厚检测系统可根据企业生产线的生产要求,提供符合生产要求的解决方案,为客户设计出符合生产要求的在线膜厚检测系统。真正做到在线24小时检测,为企业节约人力物力,提高生产效益。


                                    在线膜厚检测                                                                                         在线检测模型图
产品优势

●非接触式       东莞市捷扬光电科技有限公司的在线膜厚检测系统的传感器采用非接触式设计,避免测量过程中对薄膜造成干扰。
 
●在线实时检测   传感器在线实时检测,计算机可以监控记录每个点的变化。
 
●高精度         可根据客户的要求,提供不同精度的解决方案。
 
●稳定性高       可连续工作在温度和厂房环境中。
 
●性价比高       价格有优势,是国外同级产品价格的一半。

 

产品应用图

 

在线膜厚检测

在线膜厚检测

 

 

关键词:光谱仪 传感器
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