SF6分解产物检测：
氢气（H2）、氧气（O2）、氮气（N2）、四氟化碳 (CF4)、一氧化碳(CO)、二氧化碳（CO2）、六氟乙烷（C2F6）、八氟丙烷（C3F8）、硫酰氟(SO2F2)、亚硫酰氟（SOF2）、二氧化硫 (SO2)、硫化氢 (H2S)、羰基硫（COS）、二硫化碳（CS2）
满足标准：
GB/T 28726-2012气体分析 氦离子化气相色谱法
DL/T 920-2005 六氟化硫气体中空气、四氟化碳的气相色谱测定法
检测范围及检测限：
产物种类 | 检测限（µmol/mol） | 产物种类 | 检测限（µmol/mol） |
H2 | 0.05 | SO2F2 | 0.1 |
O2 | 0.05 | SOF2 | 0.1 |
N2 | 0.05 | SO2 | 0.1 |
CH4 | 0.05 | H2S | 0.1 |
CF4 | 0.05 | COS | 0.1 |
CO | 0.05 | CS2 | 0.1 |
CO2 | 0.05 | C3F8 | 0.05 |
C2F6 | 0.05 | | |
E•Prod GC-7860 PDHID型氦离子化气相色谱仪是上海宜友电子科技有限公司整合技术，在GC-7860 气相色谱仪基础上经过二次开发，专为ng/g级分析检测而设计的一款高灵敏度通用型气相色谱仪。该机型配备VALCO公司生产的PDHID检测器，采用上海宜友公司*的自动切割技术。是一套灵敏度，气相色谱分析系统，特别适用于高纯气体和各种电子工业气的痕量分析检测。
气体工业是国民经济的基础行业，随着国民经济的快速发展，气体工业特别是高纯气体和电子用气体行业也蓬勃发展。气体中微量杂质的分析是生产高纯气体和电子工业用气的必要环节，而这些气体中微量杂质的分析一直是色谱分析的难点之一。
目前国内在高纯气体分析领域多数采用的热导（TCD）检测器由于灵敏度有限，很难测定5ppm以下的杂质；氧化锆检测器由于是一种选择性的检测器，只能分析少数几种气体杂质；而氩离子检测器又往往带有放射源。均不能很好的满足高纯气体分析的基本要求。随着国内高纯气体行业的发展和气体用户对气体纯度的要求越来越高，以上几种检测器已经不能满足对高纯气体中微量杂质检测的要求。
瑞士VALCO公司生产的PDHID检测器（脉冲放电氦离子检测器）是一种灵敏度*的通用型检测器，对几乎所有无机和有机化合物均有很高的响应，特别适合气体的分析，是能够检测至ng/g（ppb）级的检测器。
1. 系统具备多阀多柱的中心切割与反吹技术，由多个进样阀和多根色谱联合组成
2. 分解产物检测指标能够检测至μg/g（ppb）级。
3. 可应用于现场连续检测。
4. 最小检测浓度μg/g（ppb） H2、O2、N2、CF4 CO、CO2、C2F6、C3F8≤50；
SO2F2、SOF2、SO2、H2S、COS、CS2≤100
5. 专用载气纯化器，去除气体：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等，残留浓度：≤10ppb
6. 工作电源AC 220（1±10%）V，50±1 Hz
基线漂移:≤0.2 mV/30min
噪声≤0.1mV
稳定时间≤100min
线性度<±0.1%
重现性0.06％
