绪论
ZFH-3复合中真空测量仪是上海唯科电气有限公司研制的新一代智能复合真空测量仪，配用ZJ-54D热偶规管及ZJ-10中真空电离规管，能测量267～1X10^-4Pa之间的真空度。
由于在仪器中引入了单片微机，ZFH-3复合中真空测量仪具有许多**性能：
 采用单片微机进行数据处理，真空度读数数字显示，测量结果直观、明确、读数方便。
 电离规管的除气可以自动或手动进行。
 量程自动切换。当真空度下降，**出电离规管测量范围时，仪器可以自动停止电离部分工作，显示热偶部分测量数据。当真空度提高时，则可自动启动电离部分工作。
 采用带有反馈环节的D/A电路控制热偶加热电流的大小，热偶加热电流可以数字设定，简单、方便、直观、准确。
 真空度单位自动转换。
 具有多种测量显示模式，显示方式灵活多样。
 带有三个继电器触点，动作真空度可以数字设定。
 当真空度高于10-2Pa时，可以自动标定热偶规管的加热电流。
 仪器带有RS—232或RS-485串行数据通讯接口，与上位计算机通讯方便。
 由于采用单片微机作为仪器的控制单元。ZFH-3复合中真空测量仪除了上述特点外，它的另一个显著特点是软件可修改性强，可以在基本不动或少动仪器硬件结构的情况下，修改仪器功能，创造出功能全新的仪器。
2. .主要技术条件：
2.1 热偶部分:
2.1.1 真空度测量范围：  101KPa～0.1  Pa
     　　  测量误差： 267～1  <±20%
2.1.2 加热电流调节范围：    30mA±2.4mA 由数字设定
              调节精度： <±0.5%　±2字
2.1.3 配用规管:   ZJ—54D 热偶规管
2.2 电离部分：
2.2.1 真空度测量范围： 10～1X10-4Pa
     测量误差： ±20%
2.2.2 电离规管发射电流：   50μA±3%(10-1～10-3 Pa)
    500μA±3%(10-4Pa)
2.2.3 栅极电压：  165V　±1%
2.2.4 自动除气启动真空度：  10-3Pa
2.2.5 自动除气时间： 10分钟
2.2.6 配用规管：  ZJ-10
2.3 控制触点：
2.3.1 控制触点数：  3
2.3.2 控制触点容量： 交流 220V/1A
2.4 使用环境：
2.4.1 环境温度：  +5～35度
2.4.2 相对湿度：  <85%(25度)