五项测试检测技术内容

测试项目包括微粒、氧气含量、水份、氦气测漏与压力测试。

注：1、管路微粒、水氧等测试前须先衔接厂务端接点后，以阀箱或气柜内之test port通入N2(c)进行测试，如N2（C）纯度不够无法满足要求，厂商需自配纯化器。

2、施工purge及保压、微粒、水份测试等限定使用N2

一、管线测试规范如下：

1.管路持压测试

Bulk-gas及Purified-gas持压测试时间≧6小时； Special-gas持压测试时间≧24小时 (须检附保压记录器圆盘记录纸)；合格标准：气体保压测试初始压力7.5~8.5 kg/cm2，持压后△P≦1%初始压力

2.管路微粒测试

Purified-gas 及 Special-gas气体管路须进行微粒测试，并须检附Particle Counter纪录纸；合格标准：每10分钟测1点，连续测3次，Purified-gas、Special gas粒径≦0.1μm，颗粒数≦0 pcs/cf

3.管路水份/氧分析测试

Purified-gas 及 Special-gas（含H2、不含NG）气体管路须进行水份、氧分析测试，并须检附水份、氧分析仪纪录纸；合格标准：测试时间30分钟，D.P(含水量)≦10 ppb D.P(含氧量)≦10 ppb。水份分析仪误差range为±4ppb，允许实测读值应小于6ppb

4.管路氦测漏

Purified-gas 及Special-gas（含H2、不含NG）气体管路须进行氦测漏测试，并须检附氦测漏机纪录纸；合格标准：测试时间30分钟，漏率≦1*10-9 Atm cc/sec

二.测试要求：

所有测试按接机点计算，必须保证所有管路均有测试，必须将所有管路末端单一逐一测试，或者末端串联测试，保证管路都经过仪器检测，测试高纯气体与特殊气体分开测试。