在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所有残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响，超低温捕集泵则是解决这类问题的不错选择。
使用时是将其放到油扩散泵的泵口，它关键作用是避免油扩散泵返油，另外还可以加速抽速、提升真空值。因为系统软件处在真空泵情况，不用汽车除霜设备。 依据必须,两者能够各自安裝还可以另外安裝，选用每台制冷压缩机、全自动复叠致冷方法、制冷压缩机及制冷配件、环境保护复合型冷媒生产制造，取代液态氮，节省成本费。具备制冷更快、效率更高、温度更低、维护保养便捷的特性。
超低温捕集泵的日常维护：
1、经常检查油位位置，以真空泵运转时，油位到油标中心为准。
2、经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油，确保真空泵工作正常，尽量控制真空泵的流量。
3、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。
4、一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查桷胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。
5、重新装配后应进行试运行，一般须空运转2小时并换油二次，因清洗时在真空泵中会留有一定量易挥发物，待运转正常后，再投入正常工作。
6、检查真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵，试看真空泵是否灵活。
7、拧下真空泵泵体的引水螺塞，灌注引水(或引浆)。
