产品特点

• 含一高真空分子泵机组：机械泵VRD-24（抽速6.6L/s）以及分子泵FF100/110（抽速110L/S）

• 两种工作状态可进行切换：分子泵工作模式以及恒压工作模式

• PLC触摸屏控制，触摸屏显示真空度及各项工作状态，一键式操作，方便快捷

• 恒压工作模式下：可通过变频器来PID调节真空泵的电机转速从而控制抽气速率，使抽气速率与进气量、漏气率相匹配，从而达到精确的恒压控制

输入电源

• 208-240VAC, 单相, 50/60Hz

• 功率为1200W

真空测量单元

• 型号：PGC-554-LD

• 测量范围：3.8E-5 to 1125 Torr

• 精度：

3.7×10-4 … 7.5×10-4 torr (N2) % of reading ±50 

7.5×10-4 … 75 torr (N2) % of reading ±15 

75 … 713 torr(N2) % of reading ±5 

713 … 788 torr(N2) % of reading ±2.5

真空泵系统

• 机械泵型号：VRD-24

抽速：6.6L/S

工作环境温度：5-40℃

噪音：≦58 dB  

• 分子泵型号：FF100/110

抽速：110L/S

极限压强：≦4.5*10-7 torr（不带负载）

启动压强：<  0.75 torr

额定转速：42300 rpm

• 与腔室连接接口尺寸：KF40

压力恒定控制系统

• 压力恒定控制范围(进气气氛为氩气)：

760mtorr（100Pa）-----225torr（30000Pa）（按照进气量为500sccm）

600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照进气量为300sccm）

300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照进气量为100sccm）

180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照进气量为50sccm）

• 压力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10）                  ＞2.5torr-----10torr（±%40）                   ＞10 torr------200torr（±%5）

外型尺寸

• 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

产品重量

• ~80kg

质保期

• 一年质保期，终身维护

 应用

• 此系统配套上相应的不锈钢密封法兰系统可以和本公司的真空管式炉、CVD、PECVD和HPCVD系统相连接，实现气氛的恒压控制。   

 • 此系统与本公司磁控溅射仪等镀膜设备匹配使用，可实现反应磁控溅射的气氛恒压控制。
 

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