产品详细介绍:
VHP-5T-4是一款电动真空平板式真空热压机,针对于晶片的焊接或薄膜转移,其可处理样品尺寸为100mm x 100mm。仪器工作温度为500℃,在此温度下可对样品实加的压力为6T。
技术参数:
主要参数 | ·功率:2000W ·电源: 208 - 240VAC, 50 Hz 单相 |
结构 | ·两块135mm x135mm加热平台,采用高温合金钢制成,可承受温度为500℃ ·加热管嵌在加热平台的中间,以达到快速加热的效果 ·两个精密的温控器独立控制两块加热平台,可设置30段升降温程序 ·水冷管设计在加热平台的顶端,以达到快速冷却的效果
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液压泵 | ·40T的电动液压机与真空腔体相连接 ·两个加热平台之间的可移动距离为60mm ·自动压力控制并带有数显压力显示 ·压力控制精度为+/-0.5 Mpa ·两个加热平台工作温度为500℃,加热平台顶端安装有冷却水管。当工作温度高于200℃时,请注入冷却水(>15L/min) |
温控系统和压力显示 | ·两个精密的温控系统可设置30段升降温程序,其控温精度为±5℃,分别独立控制两个加热平台 ·温控系统采用PID方式进行温度调节,并带有过热和断偶保护 ·工作温度为500℃ ·建议升温速率:0-400℃≦4℃/min 400-500≦2.5℃/min ·软件和PC接口安装在控温仪表上,可将温度程序和温度曲线导入到电脑中 ·数字压力显示器(控制器)安装在真空腔体外,可设置其压力,当压力达到设置值时电机将自动停止
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真空腔体 | ·电动液压装置和加热台都安装在真空腔体内 ·真空腔体采用304不锈钢制作,并焊接有加强筋(防止真空状态下腔体变形),真空度可以达到10E-3 torr ·内部腔体尺寸为:372mm(L) x 420mm(W) x 480mm(H) ·真空腔体前端有一直径为150mm的观察窗口 ·一个真空计安装在真空腔体上,测量内部的真空度
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水冷(可选) | ·一台循环水冷机,用于冷却加热板,防止过热和更快冷却。需额外购买 |
真空泵(可选) | ·机械泵的真空度可以达到<5×10E-2Torr(冷态下参考值) |
外形尺寸 | 800mm(L) x 550mm(W) x 1350mm(H) |
认证 | CE认证 |
质保期 | 一年保修,终身技术支持。 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
使用注意事项 | 注意:气瓶上必须安装一个减压阀,以保证安全操作。 |
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