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500ºC 真空热压机--VHP-5T-4

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更新时间:2022-07-12 14:52:11浏览次数:365次

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产品详细介绍:  VHP-5T-4是一款电动真空平板式真空热压机,针对于晶片的焊接或薄膜转移,其可处理样品尺寸为100mmx100mm

  产品详细介绍:

  VHP-5T-4是一款电动真空平板式真空热压机,针对于晶片的焊接或薄膜转移,其可处理样品尺寸为100mm x 100mm。仪器工作温度为500℃,在此温度下可对样品实加的压力为6T。

 

  技术参数:

 

主要参数

·功率:2000W

·电源: 208 - 240VAC, 50 Hz 单相

结构

·两块135mm x135mm加热平台,采用高温合金钢制成,可承受温度为500℃

·加热管嵌在加热平台的中间,以达到快速加热的效果

·两个精密的温控器独立控制两块加热平台,可设置30段升降温程序

·水冷管设计在加热平台的顶端,以达到快速冷却的效果  


 

液压泵

·40T的电动液压机与真空腔体相连接

·两个加热平台之间的可移动距离为60mm

·自动压力控制并带有数显压力显示

·压力控制精度为+/-0.5 Mpa

·两个加热平台工作温度为500℃,加热平台顶端安装有冷却水管。当工作温度高于200℃时,请注入冷却水(>15L/min)

温控系统和压力显示

·两个精密的温控系统可设置30段升降温程序,其控温精度为±5℃,分别独立控制两个加热平台

·温控系统采用PID方式进行温度调节,并带有过热和断偶保护

·工作温度为500℃

·建议升温速率:0-400℃≦4℃/min 400-500≦2.5℃/min

·软件和PC接口安装在控温仪表上,可将温度程序和温度曲线导入到电脑中

·数字压力显示器(控制器)安装在真空腔体外,可设置其压力,当压力达到设置值时电机将自动停止

 

真空腔体

·电动液压装置和加热台都安装在真空腔体内

·真空腔体采用304不锈钢制作,并焊接有加强筋(防止真空状态下腔体变形),真空度可以达到10E-3 torr

·内部腔体尺寸为:372mm(L) x 420mm(W) x 480mm(H)

·真空腔体前端有一直径为150mm的观察窗口

·一个真空计安装在真空腔体上,测量内部的真空度

 

 水冷(可选)

·一台循环水冷机,用于冷却加热板,防止过热和更快冷却。需额外购买

真空泵(可选)

·机械泵的真空度可以达到<5×10E-2Torr(冷态下参考值)

 外形尺寸

800mm(L) x 550mm(W) x 1350mm(H)

认证

CE认证

质保期

一年保修,终身技术支持。 

特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

使用注意事项

注意:气瓶上必须安装一个减压阀,以保证安全操作。

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