产品规格

尺寸：700mm×530mm×750mm

主要特点

· 可用计算机进行控制，允许您自己编制程序，进行切割。

· 主轴采用3000转大扭矩直流电机，通过控制调速旋钮，使速度在300-3000rpm内可调。

· 旋转台可进行手动或自动控制的水平360°旋转，转动公差±0.01°，操作简单方便。

· 配有8英寸的精密真空吸盘，划片晶圆直径可达200mm。切割时使用Φ220mm载物盘，切割行程可达200mm      ×200mm。

· 可根据材料的尺寸选用适合的锯片和夹锯垫。

参数

· 电源电压：220V

· 主轴驱动功率：180W

· 主轴转速：300rpm-3000rpm

· X轴行程：200mm

· Y轴行程：200mm

· Z轴行程：55mm

· 步进电机分辨率：0.0025mm

· 步进电机定位精度：0.01mm

· 可加工划片厚度：0.05mm-2.5mm

· 可切割深度：10mm（局部可达30mm）

· 工作台旋转：360°±0.01°

· 玻璃载物盘：Φ220mm

· 真空吸盘：Φ200mm（8″）

· 锯片：划锯片Φ86mm×Φ70mm、切割片Φ100mm×Φ12.7mm

标准配件

1

夹锯垫

共4套

2

玻璃载物盘

1个

3

树脂陶瓷块

2块

4

全烧结金刚石锯片

（Φ100mm×Φ12.7mm×0.33mm）

1片

5

电镀金刚石锯片

（Φ100mm×Φ12.7mm×0.4mm）

2片

6

金刚石划锯片

（Φ80mm×Φ70mm×0.15mm）

1片

7

石蜡棒

4根

质保期

一年质保期，终身维护

可选配件

· 全烧结金刚石锯片Φ100mm×Φ12.7mm×0.35mm、Φ76mm×Φ12.7mm×0.23mm

· 边缘烧结金刚石锯片Φ100mm×Φ12.7mm×0.4mm、Φ150mm×Φ12.7mm×0.5mm

· 金刚石划锯片Φ80mm×Φ70mm×0.15mm

· TW-1型无油真空泵

· 划锯片夹锯垫