真空
镀膜仪通过连续监控在线生产来保证镀膜产品的优良性，提高车间生产线上的工作效率。镀膜仪的种类多样主要分为：蒸发真空镀膜设备系列、离子真空镀膜仪系列、磁控溅射真空镀膜设备。由于真空镀膜仪的应用非常的广泛，目前已经渗透到车辆、土木建筑工程、机械、包装、环境保护、医药及医疗器械、石油、化工、食品、光学、电气、电子、原子能、半导体、航空航天、低温、专用机械、纺织、造纸、农业以及民用工业等工业部门和科学研究工作中。
真空镀膜仪的应用是很复杂的，用户需求掌握必定的操作常识，我们来一起学习一下：
一、镀膜仪的电控柜操作
1.开水泵、气源；
2.开总电源；
3.开保持泵、真空计电源，真空计档方位，等待其值小于10后，再进入下一步操作，约需5分钟；
4.开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、发动，真空计开关换到V2方位，抽到小于2停止，约需20分钟；
5.调查涡轮分子泵读数抵达250后，关抽开前机和高阀持续抽真空，抽真空抵达必定程度后才能开右边的高真空表头，调查真空度。真空抵达2×10-3后才能开电子枪电源。
二、镀膜仪的开机操作
1.开总电源；
2.一起开电子枪操控Ⅰ和电子枪操控Ⅱ电源：按电子枪操控Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及维护灯亮，三分钟后延时及维护灯灭，若后门未关好或水流继电器有毛病，维护灯会常亮；
3.开高压，高压会到达10KV以上，调理束流可到200mA摆布，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1-1.7之间摇摆。
三、镀膜仪的关机操作
1.关高真空表头、关分子泵；
2.待分子泵显现到50时，顺次关高阀、前级、机械泵，此时段约需40分钟；
3.到50以下时，再关保持泵。
