Tetra 3600 PC | 特殊设
开关柜:宽 3000 mm、高 1800 mm、深 1500 mm
腔室:宽 2500 mm、高 1200 mm、深 1200 mm
处理幅宽:2000mm
卷轴直径:127mm
卷轴外径:300mm
腔室容积:约 3600升
气体供给:通过 MFC 控制的 2 个气体通道
发生器:1 个 (80 kHz)或者13.56MHz 0-3000W
控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
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