技术应用链接:
特点
· 低压等离子系统，用于不同材料表面的处理
· 配置自动/手动模式，实现控制高机能
· 经济型等离子清洗机，小型腔体
· 适合于研究院、高校、研发中心使用
· 操作简单易使用
技术参数：
型号 | FEMTO A | ||
控制系统 | 手动控制 | ||
工艺气路 | 单路气体 | ||
工艺气体 | O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等 | ||
流量计 | 针阀流量计 | ||
单体导入 | H2O，亲疏水涂层等单体（选配） | ||
真空 腔体 | 材质 | 高硼硅玻璃/石英，盖子门带观察窗 | 不锈钢盖子门带观察窗 |
内尺寸(Φ×D) | 95×280mm | 100×278mm | |
容积 | 2L | 2.2L | |
电极 | 360度外置环绕电极 | 平行平板电极 | |
发生器
| 40KHz 0-100W 13.56MHz 0~50W 13.56MHz 0~100W | ||
真空压力计 | 皮拉尼数字式压力计（选购） | ||
计时器 | 模拟数字式 | ||
托盘 | 高硼硅玻璃，（石英选配），不锈钢 | ||
外形尺寸（WXDxH）mm | 345x420（570）x211 | ||
电源 | AC220V 50Hz 10A | ||
真空泵 | 排气速度4m3/H | ||
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