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Tetra 575 LF-PC | 特殊设备
开关柜： 宽 1150 mm、高 1900 mm、深 1600 mm
腔室： 宽 600 mm、高 1200 mm、深 800 mm
腔室容积： 约575 升
气体供给： 2 个通过 MFC 控制的气体通道
发生器： 1 个 (40 kHz)（可选：13.56 MHz 或 2.45 GHz）
部件支架： 22 层/（个）产品支架（可变）
控制系统： PC 控制系统 (Windows)
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