蔡司场发射电镜主动减震台
技术指标:
隔振性能:8dB gain on 1Hz(60-70%);20dB gain on 2Hz(≥90%)
隔振自由度:6个自由度
响应时间:≤0.01Sec
隔振性能:0.5~100Hz
模块尺寸:230×270×75mm
承载重量:300-1200Kg
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