名称

1200℃小型三温区开启式管式炉OTF-1200X-III-S

炉体结构

采用双层壳体结构，并带有风冷系统，是表面温度低于70℃。

高纯氧化铝纤维材料作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命）。

可选购石英管堵及石英坩埚，可增加炉管内洁净度及真空度（图三、四）。

设有开门断电功能，提高实验安全性（图五、六）

图一 图二 图三 图四 图五 图六

基本参数

热偶：K型热偶 建议升温速率：≤10℃/min。

温度：1100℃ （1200℃<1h） 电源：AC220,50Hz 功率：5KW

高纯石英管尺寸

以下高纯石英管尺寸可选：

φ25 φ50 φ60 φ80 φ100 Φ130

加热区

加热区长度：600mm（三温区：150mm+300mm+150mm）

加热元件

掺钼铁铬铝（表面涂有氧化锆涂层，可以极大程度延长使用寿命）

密封法兰

一对SS 304真空法兰与双高温硅O形环包括在内。

两个针阀已分别安装在两个法兰上（图一）。

一个真空压力表安装在一侧法兰（图一）。

可选：您可以选购KF25真空法兰（图二）。

可选：您可以订购法兰支架（图三）。

可选：铰链法兰（图四、五）

图一 图二 图三 图四 图五

温控系统

包含一款YD518P型温度控制器。

PID自动控温系统。

智能化30段可编程控制。

控温精度：±1℃。

三个温区分别有三个独立的温控系统控制。

默认DB9 PC通信连接端口。

通过MET认证

可选购电脑温度控制软件（用于YD518P系列控制器）用于控制升温曲线和导出数据。

温度校准（可选）

定期对管式炉进行温度校准，可保持温度的准确性和均匀性。您可以在我公司选购一个简单的校准工具包，辅助您完成这项工作，完整的校准套件包括：

48"L（1/4" OD）K型热电偶校准。

一Omega温度校准器。

热电偶补偿线。

您可以考虑分子泵，真空度可达10-5Torr

外形尺寸

1050 L×440 W×700 H mm

净重

约70KG

质保期

一年保修，终生技术指标。

特别提示：1、耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

2、因使用腐蚀气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

真空&法兰

通过机械泵可达到50m Torr。

通过分子泵泵可达到10E-5 Torr。

可选购一个冷真空阱，以避免真空泵造成污染。

可选部分

为了方便搭建完整的CVD系统，您可以在我公司购买混气系统、液相气体发生气和石英支架。

质量认证

所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/C。E认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

使用注意事项

炉管内气压不可高于0.02MPa。

由于气瓶内部气压较高，所有向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa，使用时会更加精确安全。

当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当。

进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。

石英管的长时间使用温度<1100℃。

对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

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