名称

1100℃三温区电动开启式管式炉（管径8.5、11）OTF-1100X-XX-III

设备型号

OTF-1100X-8.5-III

OTF-1100X-11-III

高纯石英管尺寸

216 OD×206 ID×1800mm L

279 OD×269 ID×1800mm L

加热区

1000mm

电源

AC380,50Hz 三相电 功率：20KW

AC380,50Hz 三相电 功率：20KW

炉体结构

采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使表面温度低于70℃

设备中配有2个氧化铝管堵，设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端（保证恒温区和密封圈的密封性）

高纯氧化铝纤维作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命）

该炉可作为退火或扩散炉，可用于8"晶片放在对应石英舟中（图三）

电动开启式设计，使得用户操作更加简便（图四）

图一 图二 图三 图四

基本参数

热偶：K型热偶 建议升温速率：≤10℃/min

温度：1000℃ （1100℃<1h） 电源：AC220，50HZ 功率：8KW

加热元件

SiC棒（36根）

炉管

8.5英寸或11英寸高纯石英炉管。

注意：石英管易碎，操作需谨慎。

为了获得更高的工作温度，可选用FeCrAl合金管，温度可达1200℃

密封法兰

一对不锈钢真空密封法兰（铰链式），4个硅胶密封圈，可是炉管内真空度达到10∧-3torr（采用机械泵抽真空）。

左端法兰：安装有不锈钢针阀，φ6.35的进气口。

右端法兰：KF40真空泵接口φ6.35铠装接口（用于热偶插入到炉管内，测量炉管内温度和进行温度校准）。

温控系统

控温精度：±0.5℃

温度校准（可选）

定期对管式炉进行温度校准，可保持温度的准确性和均匀性。您可以在我公司选购一个简单的校准工具包，辅助您完成这项工作，完整的校准套件包括

一个1200mm的K型铠装热偶。

48"L（1/4"OD）K型热电偶校准。

一Omega温度校准器。

你可以考虑分子泵，真空度可达10-5Torr。

外形尺寸

2210（L）×770(W)×1190(H) mm

净重

约500Kg

真空系统

多种真空系统可选

可选购一个冷真空阱，以避免真空泵造成污染

可选

可与手套箱系统联用，实现氧敏感性材料的烧结制备

使用注意事项

炉管内气压不可高于0.02MPa。

由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全。

当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当。

进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。

石英管的长时间使用温度＜1100℃。

对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）。

质量认证

所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/ CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

质保

一年保修，终身技术支持。

特别提示：

1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

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