主要特点
这是一款针对太阳能硒化设计的专用炉，炉体上端腔体可以实现离子增强硒化功能，利用上下腔体内的压差实现硒化气体均匀扩散乘积在基体表面。上腔体温度调节范围50-600度，等离子强度0-500W可调，下腔体0-800度可调。可以定制下腔体连续工作。
技术参数
功率 | 上炉体：1.5kw |
下炉体：5kw | |
射频功率 | 0-500W可调 |
炉膛尺寸 | 上腔体：100*100*100mm |
下腔体：240*300*100mm | |
炉膛温度 | 上腔体：50-600度可调 |
下腔体：50-800度可调 | |
重量 | 220Kg |
外型尺寸 | 1200*900*1600mm |
环保在线