阿尔维勒半导体设备用伺服液压站 返回列表页

阿尔维勒半导体设备用伺服液压站,为在半导体封装设备领域，和中科院通过技术合作，安全替代了奥地利EVG公司的气液结合系统，在光刻纳米压冲技术领域里(N12)实现了技术上的突破和超越。为半导体芯片的制造提供均匀压力的同时并将位移最高精度控制在0.75μm，保证了芯片可以发挥更好的性能和更优的能耗，同时将液压动力系统的噪音降至蕞低55dB(A) 。

是独立的液压装置，它按驱动装置(主机)要求供油，并控制油流的方向、压力和流量，它适用于主机与液压装置可分离的各种液压机械下，由电机带动油泵旋转，泵从油箱中吸油后打油，将机械能转化为液压油的压力能。

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