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自动增压器UR-7300 系列

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更新时间：2022-08-12 14:26:23浏览次数：116次

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堀场仪器（上海）有限公司

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产品简介

自动增压器UR-7300 系列

详细介绍

概要
規格

概要

UR系列自动压力调节器是具有高精度压力传感器、高分辨度和快速反应压电陶瓷做动阀门的电子调节器。它通过接收到的外部控制信号对压力进行控制。气体接触区域的全金属结构设计（金属型号）使这些部件非常适合于那些超纯气供应系统的超洁净环境压力控制。

HORIBA STEC公司的质量流量控制器在流体流速的精确控制方面是非常有名的，并且它在市场的也获得了非常大的。HORIBA STEC公司将自己的质量流量控制技术运用到了新的领域---压力控制。HORIBA STEC公司的这套压力控制系统包含了UR系列超洁净自动压力调节器；对于GR-300系列产品而言，它是通过与质量流量控制器工程师们一起合作而开发的小尺寸的芯片背面冷却系统；EC系列产品是为反应室内部控压而设计的排气压力控制器；而PV系列快速反应系统是以金属密封圈封装的压电陶瓷阀门为特色的。HORIBA STEC公司也可以提供那些通过多维空间技术设计的流量和压力控制系统。

特征

超洁净处理：所有的金属部件（金属型号）
快速反应：反应速度小于0.5秒
这些调节器可以以任何姿态安装在任何位置，使用电子信号进行控制的它们，可以广泛的适用于各种气体供应系统。
本系列产品既有进气端控制型号(-B type)，也有出气端控制型号。
可选择相对压强型，或者压强型
当压力源发生改变的时候，可以实现快速、准确的压力调整。特别是压力源突然变化的时候，这种快速准确的反应尤为重要。带有压力调整设备的话，由于提供了反应灵敏和压力可调整地特性，可以有效的控制质量流量控制器内的次级压力。此外，在一些非常小的流量范围，如果压力调整分辨率不够高，也容易产生振荡现象。高精度、高反应速度的UR系列产品为大家解决了这个问题，提供了准确和稳定的压力控制。
多路供气时的阻压干扰。当气体被诸如MOCVD或者LCD Spatter CVD等大型装置分开送气时，即使通过质量流量计的控制，突然的流量改变会对其他气路产生影响。UR系列产品，可以进行快速和准确的压力调整，甚至在这些不佳的环境下，仍然可以保证稳定的控制和确保各个质量流量计不受其他气路的相互影响。
远程压力设定（引人注目地减少了空隙体积）
自从压力通过电子信号进行控制后，UR-7300/Z704系列产品作为一种气体管路的设计将很难在传统的压力调整设备中使用。简单的气路设计减少了空隙体积的产生（几乎为零），阻止了气体的堆积并且使它更容易进行气体替换。因此，在气柜中配备压力计或者手动压力调节器将不再是必须的了。

規格

UR-7340

气体接触部材质	M类型：SUS-316L R类型：SUS-316L，氟化橡胶
压力控制量程	20-950kPa(G) 10-500kPa(G) 10-300kPa(A)
调压流量	1L/min(CV値;0.0032) 5L/min(CV値;0.016)
调压精度	±1% F.S.(满量程)
其他	也可以制作一次压力调压类型。阀门工作：非通电时，可以选择开/关闭

UR-7350

气体接触部材质	M类型：SUS-316L R类型：SUS-316L，氟化橡胶
压力控制量程	20-950kPa(G) 10-500kPa(G) 10-300kPa(A)
调压流量	10L/min(CV値;0.032)
调压精度	±1% F.S.(满量程)
其他	也可以制作一次压力调压类型。阀门工作：非通电时，可以选择开/关闭