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堀场仪器(上海)有限公司
直接注入 VC 系列
由于是无载体类型,所以可以构筑小型气化系统
由于通过质量流量来测定发生量,所以可以不必受到温度・压力的影响进行液体材料的气化供给。
VC-1310 | |
产生流量 (TEOS发生时) | 不满1.0 CCM (液相的换算) ※1 |
对象液体种类 | 会腐蚀不锈钢的HCl、HF等液体除外 |
可升温温度 | 值.150℃ |
接气部材质 | SUS-316L (PTFE) |
耐压 | 1.0MPa(G) |
VC-1310 | |
产生流量 (TEOS发生时) | 值.5.0 CCM不到 (液相的换算) ※1 |
对象液体种类 | 会腐蚀不锈钢的HCl、HF等液体除外 |
或升温温度 | 值.150℃ |
接气部材质 | SUS-316L (PTFE) |
耐压 | 1.0MPa(G) |
※1 不同的液体种类将会有所差异。请进行咨询协商。
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