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反应腔室排气压力控制器 EC-5000系列

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更新时间：2022-08-12 14:44:05浏览次数：227次

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堀场仪器（上海）有限公司

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产品简介

反应腔室排气压力控制器 EC-5000系列

详细介绍

概要
規格

概要

EC-5000系列产品是由一套排气压力控制器所组成，此装置可保证反应室的压力值始终稳定在客户要求的设定范围。高分辨度的步进式马达和蝶形阀设计确保了本产品的高速、高分辨度响应。

特征

适合高真空环境使用：不锈钢质本体
抗腐蚀
使用PTFE（聚四氟乙烯）制作的本体也可以提供
适合对于腐蚀性气体的使用

当排气端流量被调整到的位置：

抗蚀剂是以一层均匀的薄膜方式分布的
阻止了喷雾的次级沉积
阻止了危险水蒸气的扩散
此外，与流量传感器控制方式相比较而言，因抗蚀剂和其他污染物堆积对本产品造成的影响更小
此产品属于受日本法律管制的出口品（列于控制清单之上）。在从日本出口到海外或者供应给非日本企业前，必需从日本经济产业省的相关部门获得出口许可证件。

規格

Model EC-

5104

5105

5202

Compatible size

NW40

NW50

25 mm PTFE fitting

1 inch PTFE fitting

Materials at gas contact area

SUS316L, Fluoro rubber

PTFE, PEEK, Fluoro rubber

Conductance
(in vacuum area)

0.4 to 80L/s

0.6 to 200L/s

——

Outflow at 100 mm H2O
(fully closed)

20L/min

25L/min

3L/min

* This product is subject to Japan's Export Control Law (i.e. on its control list). Before it is exported from Japan to overseas or supplied to non-residents, an Export License must be obtained from the Ministry of Economy, Trade and Industry (METI) of Japan.