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长春市博盛量子科技有限公司
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FOC100FOC200FOC300运动范围（m）100200300分辨率（nm）0
| | FOC100 | FOC200 | FOC300 |
| 运动范围（µm） | 100 | 200 | 300 |
| 分辨率（nm） | 0,1 | 0,2 | 0,3 |
| 典型的噪声基准（nm） | 0,01 | 0,02 | 0,03 |
| 全范围重复性（nm） | 0,2 | 0,4 | 0,6 |
| 线性化（典型的） | 0,02% | 0,02% | 0,02% |
| 谐振频率（hz) | 500 | 350 | 250 |
| 刚度 (N/µm) | 0,6 | 0,4 | 0,3 |
| 负载（kg）-水平使用 | 0,5 | 0,5 | 0,5 |
| 负载（kg）-垂直使用 | 0,5 | 0,5 | 0,5 |
| 传感器 | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor |
| 尺寸：W x L x H (mm) | 53,6 x 64,2 x 34,50 | 53,6 x 64,2 x 34,50 | 53,6 x 64,2 x 34,50 |
| 材料 | Al | Al | Al |
| 电缆长度（m） | 2 | 2 | 2 |
| 推荐控制器 | Standard | Standard | Standard |
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