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上海皇龙自动化工程有限公司
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MFM200系列,气体质量流量计,流量20000sccm,压力500PSI
MFM 系列热式质量流量计和MFC 系列热式质量流量控制器为多功能产品，该产品的设计易于使用，方便进行流量检测与控制。本类产品标准工作压力为500psig，标准标定时采用空气、氦气、氢气、二氧化碳，其他气体标定可按要求进行。
所有流量计和控制器均由316L不锈钢棒料制造，可用流量范围从0-10sccm到0-20lpm，其精度可高达±1%满刻度。并且每台仪器都可提供可追溯的NIST标定证书。电路设计可以抗高射频干扰，且响应速度很快，从而确保性能可靠和精度。
特点
• 全量程±1%精度
• 经过验证的可靠性
• 量程–20,000 sccm
• NIST 可追溯校准
应用
• 泄漏测试
• 医疗研究
• 气象淀积
• 研发和工艺流程
• 半导体制程
• 污染检测
• 气体混合
• 色谱分析
技术指标
MFM 200 精确度1 和线性度 ±1% 量程 重复精度 ±0.05% 量程 标准额定压力 500 psig 压力系数 典型-0.0067%/psi (0-1000 psig N2 ) 整体泄漏率 <1x10-9 sccs 温度系数 3 零 ±0.035% 量程/°C (0-60°C) 量程 ±0.05%读数/°C (0-60°C) 标准温度和压力 0°C和760托 电源 ±15 VDC @ ±25 mA 流量信号 (本征线性) 0-5VDC 接触介质的材料 316 SS, Viton®, 82/18 Au/Ni 钎焊,
微量银焊接 连接器 15针微型 D 接头 1/4" 和 1/8" 卡套 重量
1.8 lb (0.82 kg)
选型表
MFM-200订货号 流量范围 1/4"卡套 1/8"卡套 MFM-200-2-10 0-10 SCCM ⊙ MFM-200-2-100 0-100 SCCM ⊙ MFM-200-2-500 0-500 SCCM ⊙ MFM-200-2-1000 0-1000 SCCM ⊙ MFM-200-4-3L 0-3 SLM ⊙ MFM-200-4-5L 0-5 SLM ⊙ MFM-200-4-10L 0-10 SLM ⊙ MFM-200-4-20L 0-20 SLM ⊙
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